Semi-conducteurs

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Ionbond Semiconductors
Semi-conducteurs

Solutions de revêtement des semi-conducteurs

Les applications de semi-conducteurs sont souvent uniques, appelant des solutions tout aussi uniques. En fonction de l'application réelle, des revêtements standard ou personnalisés du portefeuille Ionbond (familles Tribobond™ ou Ionbond™ CVD) sont proposés.  Dans tous les cas, les ingénieurs d'Ionbond analysent soigneusement les exigences de l'application et proposent ensuite des solutions de revêtement adaptées.

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L'industrie des semi-conducteurs

L'industrie des semi-conducteurs s'appuie fortement sur des équipements spécialisés pour produire des micropuces et d'autres dispositifs semi-conducteurs. Ces machines, qui doivent fonctionner dans des environnements très exigeants, nécessitent des composants mécaniques durables, précis et fiables pour fonctionner de manière optimale et avec une grande fiabilité. Les machines à semi-conducteurs sont généralement très coûteuses, ce qui rend inacceptables les temps d'arrêt excessifs. Une solution qui s'est avérée essentielle pour maintenir la longévité et l'efficacité des équipements de semi-conducteurs est l'utilisation de revêtements de semi-conducteurs en couches minces (TF) produits par des méthodes de dépôt PVD, PACVD et CVD. Le groupe Ionbond IHI est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de ces revêtements, desservant de multiples industries à partir de ses 35 sites de revêtement.

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Avantages du revêtement Ionbond

Les couches minces sont des couches de 1 à 20 μm d’épaisseur déposées sur des composants de machines à l’aide de procédés sous vide et plasma. Elles sont conçues pour améliorer les performances de divers équipements de fabrication de semi-conducteurs au travers de différentes caractéristiques :

  • Résistance supérieure à l’usure
  • Protection renforcée contre la corrosion
  • Haute stabilité thermique
  • Réduction de la friction
  • Amélioration du pouvoir lubrifiant
  • Propriétés antiadhésives
  • Réduction de la production de particules
Silicon wafer

Systèmes de manutention et de transfert des plaquettes

Les systèmes de manipulation des wafers, qui déplacent les wafers semi-conducteurs entre les différentes étapes de traitement et les maintiennent pendant le traitement, s'appuient sur des bras robotisés, des curseurs et d'autres composants de haute précision qui doivent fonctionner avec un minimum de contamination. L'application de couches minces et de revêtements Tribobond™ sur les outils de manipulation des wafers offre une surface à faible friction et résistante à l'usure qui permet des mouvements fluides et réduit les risques de contamination par les particules.

Ces revêtements spécialisés sont conçus pour empêcher la génération de débris d’usure, dont l’apparition peut compromettre  la propreté et l’environnement. Les revêtements Tribobond™, grâce à leur haute résistance à l’usure, créent un rempart efficace, assurant un fonctionnement à long terme sans particules et apportant la précision et la propreté requises dans la fabrication de semi-conducteurs.

Revêtements et applications spéciaux

Chambres et enceintes à vide

Les chambres à vide, essentielles pour le dépôt et la gravure des semi-conducteurs, nécessitent un environnement vierge et exempt de contaminants. Pour y parvenir, des revêtements en couches minces Ionbond sont appliqués à l'intérieur des chambres, offrant une résistance à la corrosion et empêchant l'accumulation de matériaux. Les surfaces restent ainsi lisses et chimiquement stables, ce qui permet de respecter les normes de pureté strictes de la production de semi-conducteurs.

Les nouveaux procédés de fabrication de semi-conducteurs qui utilisent des revêtements sous vide posent des problèmes tribologiques particuliers. Pour y remédier, les ingénieurs de Ionbond ont développé Tribobond™ 55, un revêtement de carbone de type diamant (DLC) spécialement conçu pour les environnements sous vide et secs. Tribobond™ 55 offre un coefficient de frottement extrêmement faible dans ces conditions, inaccessible avec les films standard, ce qui améliore la durabilité et les performances.

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Obstacles à la diffusion/migration

Comme dans aucune autre industrie, la contamination croisée due au contact étroit de deux surfaces peut entraîner de graves problèmes pour le traitement des plaquettes. De même, l'exposition des surfaces à des gaz ou des liquides corrosifs peut entraîner une pollution inacceptable du milieu ou de la surface elle-même. Les revêtements en couches minces permettent de prévenir ou de minimiser les risques de contamination indésirable. Pour ce faire, ils créent une barrière non réactive qui isole la source de contamination.

Electrical discharge

Solutions de revêtement personnalisées Ionbond

Besoin de revêtements aux propriétés très spécifiques ? Qu'il s'agisse de propriétés électriques spécifiques, d'une plage de résistivité ciblée ou de la capacité à résister à des tensions extrêmes, les ingénieurs d'Ionbond proposent des solutions de revêtement standard, personnalisées ou sur mesure. Pour ces applications, les ingénieurs de Ionbond travaillent en étroite collaboration avec le client et proposent des solutions standard, personnalisées ou spécialement conçues.

Revêtements haut de gamme pour composants industriels

Le portefeuille de revêtements Ionbond pour les composants industriels est spécifiquement conçu pour répondre aux applications de diverses industries, notamment l'aérospatiale, le transport, la production d'énergie et l'ingénierie générale.

Composants industriels
Microsection Tribobond 01

Tribobond™ 01

Revêtement pour un large éventail d'applicationsTribobond™ 01 TiN est sans doute le revêtement PVD le plus ancien et le plus populaire. Sa couleur dorée esthétiquement agréab…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 15

Tribobond™ 15

Revêtement résistant à l'usure pour les applications à haute températureLe revêtement Tribobond™ 15 TiAlCrN de Ionbond possède une combinaison impressionnante de propriétés :…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 15

Tribobond™ 20

Revêtement de résistance à l'usure pour les applications à haute températureLe revêtement Tribobond™ 20 AlTiN d'Ionbond est conçu pour offrir une protection contre l'usure et…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 30

Tribobond™ 30

Revêtement résistant aux hautes températures avec une excellente ténacitéLe Tribobond™ 30 CrN présente une bonne combinaison de propriétés ; une dureté élevée, une excellente…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 31

Tribobond™ 31

Revêtement résistant à l'usure à faible contrainte avec une surface lisseLe Tribobond™ 31 Cr2N sous-stoechiométrique présente une contrainte résiduelle inférieure à celle de …
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Composants industriels
Ionbond Industrial Portrait

Tribobond™ 34

Revêtement résistant à l'usure avec une couche supérieure d'oxydeLe Tribobond™ 34 CrON présente un revêtement CrN standard avec une couche supérieure de CrON. La présence du …
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Composants industriels
Microsection Tribobond 40

Tribobond™ 40

Revêtement à base de DLC pour les composants industriels et automobiles fortement chargésLe Tribobond™ 40 DLC de Ionbond, également désigné sous le nom de a-C:H:W, est l'un d…
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Composants industriels
Piston Pin coating

Tribobond™ 41

Revêtement DLC avec des propriétés de glissement supérieuresLe revêtement Tribobond™ 41 DLC a-C:H:W + a-C:H de Ionbond est utilisé depuis de nombreuses années pour la product…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 42

Tribobond™ 42

Revêtement DLC pour les composants industriels très chargés et les applications automobiles de grand volumeLe revêtement Tribobond™ 42 DLC, CrN + a-C:H, de Ionbond est conçu …
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Composants industriels
ADLC coated application

Tribobond™ 43

Revêtement DLC pour composants industriels aux propriétés uniquesLe Tribobond™ 43 DLC (a-C:H) de Ionbond est un revêtement DLC pur, largement utilisé pour renforcer les perfo…
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Composants industriels
Microsection Tribobond 46

Tribobond™ 46

Revêtement DLC pour les applications fortement chargées avec des contacts roulantsLe Tribobond™ 46 DLC, CrN + a-C:H:W de Ionbond possède une couche supérieure similaire à cel…
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Composants industriels
Piston Pins coating service

Tribobond™ 48

Revêtement DLC sans hydrogène pour les applications à haute températureTribobond™ 48 ta-C est un revêtement DLC sans hydrogène présentant une résistance accrue à la températu…
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Composants industriels
Piston Pins coating service

Tribobond™ 55

Revêtement spécial pour les environnements sous vide et secsLe Tribobond™ 55 est un revêtement spécial, qui a été développé pour répondre aux applications tribologiques dans …
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Composants industriels
Ionbond Industrial Portrait

Tribobond™ 66

Revêtement d'aluminium résistant à la corrosionLes revêtements en aluminium offrent une amélioration remarquable de la résistance à la corrosion. Dans ce cas, le revêtement a…
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Composants industriels
Microsection Ionbond CVD IC

Ionbond™ CVD

Ionbond™ CVD Coatings for Components ApplicationsOne of the limitations of the PVD and PACVD technologies is their inability to promote coatings into inner surfaces, like hol…
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Val Lieberman

Dr. Val Lieberman

Responsable du segment mondial Composants