Semi-conducteurs
Soutenez la loi de Moore et favorisez la miniaturisation continue et l’amélioration de l’efficacité de la microélectronique avec les revêtements Ionbond
Solutions de revêtement des semi-conducteurs
Les applications de semi-conducteurs sont souvent uniques, appelant des solutions tout aussi uniques. En fonction de l'application réelle, des revêtements standard ou personnalisés du portefeuille Ionbond (familles Tribobond™ ou Ionbond™ CVD) sont proposés. Dans tous les cas, les ingénieurs d'Ionbond analysent soigneusement les exigences de l'application et proposent ensuite des solutions de revêtement adaptées.
L'industrie des semi-conducteurs
L'industrie des semi-conducteurs s'appuie fortement sur des équipements spécialisés pour produire des micropuces et d'autres dispositifs semi-conducteurs. Ces machines, qui doivent fonctionner dans des environnements très exigeants, nécessitent des composants mécaniques durables, précis et fiables pour fonctionner de manière optimale et avec une grande fiabilité. Les machines à semi-conducteurs sont généralement très coûteuses, ce qui rend inacceptables les temps d'arrêt excessifs. Une solution qui s'est avérée essentielle pour maintenir la longévité et l'efficacité des équipements de semi-conducteurs est l'utilisation de revêtements de semi-conducteurs en couches minces (TF) produits par des méthodes de dépôt PVD, PACVD et CVD. Le groupe Ionbond IHI est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de ces revêtements, desservant de multiples industries à partir de ses 35 sites de revêtement.
Avantages du revêtement Ionbond
Les couches minces sont des couches de 1 à 20 μm d’épaisseur déposées sur des composants de machines à l’aide de procédés sous vide et plasma. Elles sont conçues pour améliorer les performances de divers équipements de fabrication de semi-conducteurs au travers de différentes caractéristiques :
- Résistance supérieure à l’usure
- Protection renforcée contre la corrosion
- Haute stabilité thermique
- Réduction de la friction
- Amélioration du pouvoir lubrifiant
- Propriétés antiadhésives
- Réduction de la production de particules
Systèmes de manutention et de transfert des plaquettes
Les systèmes de manipulation des wafers, qui déplacent les wafers semi-conducteurs entre les différentes étapes de traitement et les maintiennent pendant le traitement, s'appuient sur des bras robotisés, des curseurs et d'autres composants de haute précision qui doivent fonctionner avec un minimum de contamination. L'application de couches minces et de revêtements Tribobond™ sur les outils de manipulation des wafers offre une surface à faible friction et résistante à l'usure qui permet des mouvements fluides et réduit les risques de contamination par les particules.
Ces revêtements spécialisés sont conçus pour empêcher la génération de débris d’usure, dont l’apparition peut compromettre la propreté et l’environnement. Les revêtements Tribobond™, grâce à leur haute résistance à l’usure, créent un rempart efficace, assurant un fonctionnement à long terme sans particules et apportant la précision et la propreté requises dans la fabrication de semi-conducteurs.
Chambres et enceintes à vide
Les chambres à vide, essentielles pour le dépôt et la gravure des semi-conducteurs, nécessitent un environnement vierge et exempt de contaminants. Pour y parvenir, des revêtements en couches minces Ionbond sont appliqués à l'intérieur des chambres, offrant une résistance à la corrosion et empêchant l'accumulation de matériaux. Les surfaces restent ainsi lisses et chimiquement stables, ce qui permet de respecter les normes de pureté strictes de la production de semi-conducteurs.
Les nouveaux procédés de fabrication de semi-conducteurs qui utilisent des revêtements sous vide posent des problèmes tribologiques particuliers. Pour y remédier, les ingénieurs de Ionbond ont développé Tribobond™ 55, un revêtement de carbone de type diamant (DLC) spécialement conçu pour les environnements sous vide et secs. Tribobond™ 55 offre un coefficient de frottement extrêmement faible dans ces conditions, inaccessible avec les films standard, ce qui améliore la durabilité et les performances.
Obstacles à la diffusion/migration
Comme dans aucune autre industrie, la contamination croisée due au contact étroit de deux surfaces peut entraîner de graves problèmes pour le traitement des plaquettes. De même, l'exposition des surfaces à des gaz ou des liquides corrosifs peut entraîner une pollution inacceptable du milieu ou de la surface elle-même. Les revêtements en couches minces permettent de prévenir ou de minimiser les risques de contamination indésirable. Pour ce faire, ils créent une barrière non réactive qui isole la source de contamination.
Solutions de revêtement personnalisées Ionbond
Besoin de revêtements aux propriétés très spécifiques ? Qu'il s'agisse de propriétés électriques spécifiques, d'une plage de résistivité ciblée ou de la capacité à résister à des tensions extrêmes, les ingénieurs d'Ionbond proposent des solutions de revêtement standard, personnalisées ou sur mesure. Pour ces applications, les ingénieurs de Ionbond travaillent en étroite collaboration avec le client et proposent des solutions standard, personnalisées ou spécialement conçues.
Revêtements haut de gamme pour composants industriels
Le portefeuille de revêtements Ionbond pour les composants industriels est spécifiquement conçu pour répondre aux applications de diverses industries, notamment l'aérospatiale, le transport, la production d'énergie et l'ingénierie générale.
Tribobond™ 01
Tribobond™ 15
Tribobond™ 20
Tribobond™ 30
Tribobond™ 31
Tribobond™ 34
Tribobond™ 40
Tribobond™ 41
Tribobond™ 42
Tribobond™ 43
Tribobond™ 46
Tribobond™ 48
Tribobond™ 55
Tribobond™ 66
Ionbond™ CVD
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Dr. Val Lieberman, Responsable du segment mondial Composants, se serons ravis de vous aider.
Nous vous répondrons dès que possible.
Dr. Val Lieberman
Responsable du segment mondial Composants
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