Semiconductores

Apoye la ley de Moore e impulse la miniaturización continua y las mejoras de eficiencia en microelectrónica con los recubrimientos Ionbond.

Ionbond Semiconductors
Semiconductores

Soluciones de recubrimiento para semiconductores

Las aplicaciones de semiconductores son a menudo únicas, exigiendo soluciones igualmente únicas. Dependiendo de la aplicación real, se ofrecen recubrimientos estándar o personalizados de la cartera de Ionbond (Tribobond™ o Ionbond™ familias CVD). En todos los casos, los ingenieros de Ionbond analizan cuidadosamente los requisitos de la aplicación y luego proponen soluciones de recubrimiento adecuadas.

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La industria de semiconductores

La industria de semiconductores depende en gran medida de equipos especializados para producir microchips y otros dispositivos semiconductores. Estas máquinas, encargadas de operar en entornos muy exigentes, requieren componentes mecánicos duraderos, precisos y fiables para funcionar de forma óptima y con gran fiabilidad. La maquinaria de semiconductores suele ser muy cara, por lo que los tiempos de inactividad y las paradas excesivas resultan inaceptables. Una solución que ha demostrado ser fundamental para mantener la longevidad y eficiencia de los equipos semiconductores es el uso de recubrimientos especiales de película fina (TF) para semiconductores producidos por métodos de deposición PVD, PACVD y CVD. Ionbond IHI Group es uno de los principales proveedores mundiales de estos recubrimientos y presta servicio a múltiples industrias desde sus 35 centros de recubrimiento.

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Ventajas del revestimiento Ionbond

Los recubrimientos de película fina son películas de material de 1 a 20 um de espesor depositadas sobre componentes de máquinas mediante procesos basados en vacío y plasma. Están diseñados para mejorar el rendimiento de diversos equipos de fabricación de semiconductores mediante:

  • Mayor resistencia al desgaste
  • Mayor protección contra la corrosión
  • Alta estabilidad térmica
  • Reducción de la fricción y mejora de la lubricidad
  • Propiedades antiadherentes
  • Menor generación de partículas
Silicon wafer

Sistemas de manipulación y transferencia de obleas

Los sistemas de manipulación de obleas, que mueven las obleas semiconductoras entre las distintas etapas de procesamiento y las sujetan durante el mismo, dependen de brazos robóticos, deslizadores y otros componentes de alta precisión que deben funcionar con una contaminación mínima. La aplicación de recubrimientos de película fina y Tribobond™ a las herramientas de manipulación de obleas proporciona una superficie de baja fricción y resistente al desgaste que permite un movimiento suave y reduce los riesgos de contaminación por partículas.

Estos recubrimientos especializados están diseñados para evitar la generación de residuos de desgaste, que pueden poner en peligro el entorno de procesamiento limpio. Tribobond™ recubrimientos, con su alta resistencia al desgaste, crear sellos eficientes en superficies críticas, asegurando a largo plazo, el funcionamiento libre de partículas y el apoyo a la precisión y la limpieza requerida en la fabricación de semiconductores.

Recubrimientos y aplicaciones especiales

Cámaras de vacío y envolventes

Las cámaras de vacío, esenciales en la deposición y el grabado de semiconductores, requieren un entorno prístino y libre de contaminantes. Para conseguirlo, se aplican revestimientos de película fina Ionbond al interior de las cámaras, que ofrecen resistencia a la corrosión y evitan la acumulación de material. De este modo, las superficies se mantienen lisas y químicamente estables, cumpliendo las estrictas normas de pureza de la producción de semiconductores.

En los nuevos procesos de semiconductores que utilizan revestimientos al vacío, surgen retos tribológicos únicos. Para hacer frente a esto, los ingenieros de Ionbond desarrollado Tribobond™ 55, un recubrimiento de carbono tipo diamante (DLC) especialmente diseñado para el vacío y ambientes secos. Tribobond™ 55 proporciona un coeficiente extremadamente bajo de fricción en estas condiciones, inalcanzable con películas estándar, la mejora de la durabilidad y el rendimiento.

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Barreras de difusión/migración

Como en ninguna otra industria, la contaminación cruzada debida al contacto estrecho de dos superficies podría causar serios problemas en el procesamiento de obleas. Del mismo modo, la exposición de las superficies a gases o líquidos corrosivos puede provocar una contaminación inaceptable del medio o de la propia superficie. Los revestimientos de película fina ayudan a prevenir o minimizar los riesgos de contaminación no deseada. Esto se consigue creando una barrera no reactiva que aísla la fuente de contaminación.

Electrical discharge

Soluciones de recubrimiento personalizadas Ionbond

¿Necesita revestimientos con propiedades muy específicas? Ya sea para propiedades eléctricas específicas, un rango de resistividad objetivo o la capacidad de soportar voltajes extremos, los ingenieros de Ionbond ofrecen soluciones de recubrimiento estándar, personalizadas o a medida. Para estas aplicaciones, los ingenieros de Ionbond trabajan en estrecha colaboración con el cliente, ofreciendo soluciones estándar, personalizadas o diseñadas especialmente.

Recubrimientos de primera calidad para componentes industriales

Los recubrimientos de Ionbond para componentes industriales están especialmente diseñados para aplicaciones en diversos sectores, como el aeroespacial, el transporte, la generación de energía y la ingeniería en general.

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Val Lieberman

Dr. Val Lieberman

Director de segmento mundial Componentes