Wafer-Handhabung

Die Hauptfunktion von Beschichtungen auf der Hardware zur Wafer-Handhabung besteht darin, die Erzeugung von Verschleißrückständen zu verhindern, die die Verarbeitungsumgebung verunreinigen können. Tribobond-Beschichtungen bieten aufgrund ihrer hohen Verschleißfestigkeit ideale Lösungen für solche Herausforderungen. Diese Beschichtungen ermöglichen eine effiziente Abdichtung kritischer Oberflächen und tragen so zu einem dauerhaft partikelfreien Betrieb bei.