Vakuum-Halbleiter

Einige der neueren Halbleiterprozesse verwenden Vakuum, was zusätzliche Herausforderungen für tribologische Elemente mit sich bringt. Als Antwort darauf haben die Ingenieure von IHI Ionbond und Hauzer Technocoating eine spezielle diamantähnliche Kohlenstoffbeschichtung (DLC) entwickelt, Tribobond 55, die für den Einsatz im Vakuum und in anderen trockenen Umgebungen entwickelt wurde. Diese Beschichtung weist unter diesen Bedingungen einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten auf, der mit herkömmlichen Filmen nicht zu erreichen ist.