Diffusionssperre

In einigen spezifischen Halbleiter-Anlagen können Bernex-Beschichtungen zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) Diffusionssperren erzeugen, um Komponenten vor Korrosion und Erosion zu schützen. Diese Beschichtungen werden in der Regel auf die Innenflächen der Komponenten aufgebracht und ermöglichen deren zuverlässigen Betrieb.