Halbleiter

Halten Sie das Mooresche Gesetz aufrecht und tragen Sie mit Ionbond-Beschichtungen zum kontinuierlichen Prozess der Miniaturisierung und Effizienzsteigerung der Mikroelektronik bei.

Halbleiter

Halbleiteranwendungen sind oft sehr spezifisch und erfordern ebenso spezifische Lösungen. Je nach Anwendung werden Standard- oder fein abgestimmte Tribobond^™- und Ionbond^™CVD-Beschichtungen angeboten. Im letzteren Fall analysieren die Ionbond-Ingenieure die Anwendungsanforderungen sorgfältig und schlagen dann Beschichtungslösungen vor.

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Anwendungen für die Beschichtung von Halbleitern

Wafer-Handhabung

Die Hauptfunktion von Beschichtungen auf der Hardware zur Wafer-Handhabung besteht darin, die Erzeugung von Verschleißrückständen zu verhindern, die die Verarbeitungsumgebung verunreinigen können. Tribobond^™-Beschichtungen bieten aufgrund ihrer hohen Verschleißfestigkeit ideale Lösungen für solche Herausforderungen. Diese Beschichtungen ermöglichen eine effiziente Abdichtung kritischer Oberflächen und tragen so zu einem dauerhaft partikelfreien Betrieb bei.

Vakuum-Beschichtungen

Einige der neueren Halbleiterprozesse verwenden Vakuum, was zusätzliche Herausforderungen für tribologische Elemente mit sich bringt. Als Antwort darauf haben die Ingenieure von IHI Ionbond und Hauzer Technocoating eine spezielle diamantähnliche Kohlenstoffbeschichtung (DLC) entwickelt, Tribobond 55^™, die für den Einsatz im Vakuum und in anderen trockenen Umgebungen entwickelt wurde. Diese Beschichtung weist unter diesen Bedingungen einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten auf, der mit herkömmlichen Filmen nicht zu erreichen ist.

Diffusionssperre

In einigen spezifischen Halbleiter-Anlagen können Ionbond^™CVD-Beschichtungen zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) Diffusionssperren erzeugen, um Komponenten vor Korrosion und Erosion zu schützen. Diese Beschichtungen werden in der Regel auf die Innenflächen der Komponenten aufgebracht und ermöglichen deren zuverlässigen Betrieb.

Individualisierung

Eine andere Gruppe von Halbleiteranwendungen erfordert Beschichtungen mit hochspezifischen Eigenschaften. Gleichgültig, ob elektrischen Eigenschaften, einen bestimmten Widerstandsbereich oder die Fähigkeit, extrem hohen Spannungen standzuhalten. Für diese Anwendungen arbeiten die Ingenieure von Ionbond eng mit dem Kunden zusammen und bieten Standard-, kundenspezifische oder speziell entwickelte Lösungen an.

Beschichtungsportfolio für industrielle Komponenten

Das Beschichtungsportfolio von Ionbond für industrielle Komponenten mit seinen vielseitigen Tribobond^™ und Ionbond^™ CVD-Beschichtungen bietet die perfekten Lösungen für die Herausforderungen, denen moderne mechanische Komponenten ausgesetzt sind.

Schichten-Portfolio