Halbleiter

Die Halbleiterindustrie ist bei der Herstellung von Mikrochips und anderen Halbleiterbauelementen in hohem Maße auf Spezialmaschinen angewiesen. Diese Maschinen, die in sehr anspruchsvollen Umgebungen arbeiten müssen, benötigen langlebige, präzise und zuverlässige mechanische Komponenten, um optimal und mit hoher Zuverlässigkeit zu funktionieren. Halbleitermaschinen sind in der Regel sehr teuer, so dass übermäßige Ausfallzeiten und Stillstände nicht akzeptabel sind. Eine Lösung, die sich als entscheidend für die Aufrechterhaltung der Langlebigkeit und Effizienz von Halbleiteranlagen erwiesen hat, ist die Verwendung spezieller Dünnfilm-Halbleiterbeschichtungen, die durch PVD-, PACVD- und CVD-Abscheidungsverfahren hergestellt werden. Die Ionbond IHI Group ist einer der weltweit führenden Anbieter dieser Beschichtungen und beliefert von ihren 35 Beschichtungsstandorten aus zahlreiche Branchen.

Wafer-Handling-Systeme, die Halbleiterwafer zwischen verschiedenen Verarbeitungsstufen bewegen und während der Verarbeitung halten, sind auf Roboterarme, Schieber und andere hochpräzise Komponenten angewiesen, die mit minimaler Verunreinigung arbeiten müssen. Dünnfilm- und Tribobond™-Beschichtungen auf Wafer-Handling-Werkzeugen sorgen für eine reibungsarme, verschleißfeste Oberfläche, die reibungslose Bewegungen ermöglicht und das Risiko von Partikelkontaminationen reduziert.

Diese speziellen Beschichtungen sind so konzipiert, dass sie die Entstehung von Verschleißpartikeln verhindern, die die saubere Verarbeitungsumgebung gefährden können. Tribobond™-Beschichtungen sorgen mit ihrer hohen Verschleißfestigkeit für effiziente Dichtungen auf kritischen Oberflächen, die einen langfristigen, partikelfreien Betrieb gewährleisten und die in der Halbleiterfertigung erforderliche Präzision und Sauberkeit unterstützen.