Halbleiter

Halten Sie das Mooresche Gesetz aufrecht und tragen Sie mit Ionbond-Beschichtungen zum kontinuierlichen Prozess der Miniaturisierung und Effizienzsteigerung der Mikroelektronik bei.

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Beschichtungslösungen für Halbleiter

Halbleiteranwendungen sind oft sehr spezifisch und erfordern ebenso spezifische Lösungen. Je nach Anwendung werden Standard- oder fein abgestimmte Tribobond- und IonbondCVD-Beschichtungen angeboten. Im letzteren Fall analysieren die Ionbond-Ingenieure die Anwendungsanforderungen sorgfältig und schlagen dann Beschichtungslösungen vor.

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Wafer-Handhabung

Die Hauptfunktion von Beschichtungen auf der Hardware zur Wafer-Handhabung besteht darin, die Erzeugung von Verschleißrückständen zu verhindern, die die Verarbeitungsumgebung verunreinigen können. Tribobond-Beschichtungen bieten aufgrund ihrer hohen Verschleißfestigkeit ideale Lösungen für solche Herausforderungen. Diese Beschichtungen ermöglichen eine effiziente Abdichtung kritischer Oberflächen und tragen so zu einem dauerhaft partikelfreien Betrieb bei.

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Vakuum-Beschichtungen

Einige der neueren Halbleiterprozesse verwenden Vakuum, was zusätzliche Herausforderungen für tribologische Elemente mit sich bringt. Als Antwort darauf haben die Ingenieure von IHI Ionbond und Hauzer Technocoating eine spezielle diamantähnliche Kohlenstoffbeschichtung (DLC) entwickelt, Tribobond 55, die für den Einsatz im Vakuum und in anderen trockenen Umgebungen entwickelt wurde. Diese Beschichtung weist unter diesen Bedingungen einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten auf, der mit herkömmlichen Filmen nicht zu erreichen ist.

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Diffusionssperre

In einigen spezifischen Halbleiter-Anlagen können IonbondCVD-Beschichtungen zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) Diffusionssperren erzeugen, um Komponenten vor Korrosion und Erosion zu schützen. Diese Beschichtungen werden in der Regel auf die Innenflächen der Komponenten aufgebracht und ermöglichen deren zuverlässigen Betrieb.

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Unsere kundenspezifischen Beschichtungslösungen

Eine andere Gruppe von Halbleiteranwendungen erfordert Beschichtungen mit hochspezifischen Eigenschaften. Gleichgültig, ob elektrischen Eigenschaften, einen bestimmten Widerstandsbereich oder die Fähigkeit, extrem hohen Spannungen standzuhalten. Für diese Anwendungen arbeiten die Ingenieure von Ionbond eng mit dem Kunden zusammen und bieten Standard-, kundenspezifische oder speziell entwickelte Lösungen an.

Hochwertige Beschichtungen für industrielle Komponenten

Das Beschichtungsportfolio von Ionbond für Industriekomponenten wurde speziell für Anwendungen in verschiedenen Branchen entwickelt, darunter Luft- und Raumfahrt, Transport, Energieerzeugung und allgemeiner Maschinenbau.

Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 01

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 15

Verschleißfeste Beschichtung für HochtemperaturanwendungenDie Tribobond™ 15 TiAlCrN-Beschichtung von Ionbond verfügt über eine beeindruckende Kombination von Eigenschaften: hohe Härte, ausgezeichnete…

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 20

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 30

Hochtemperaturfeste Beschichtung mit exzellenter ZähigkeitTribobond™ 30 CrN hat eine gute Kombination von Eigenschaften: hohe Härte, ausgezeichnete Zähigkeit, hohe Verschleiß- und Schlagfestigkeit. T…

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Tribobond™ 31

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 34

Verschleißfeste Beschichtung mit einer oberen OxidschichtTribobond™ 34 CrON besteht aus einer Standard-CrN-Beschichtung mit einer Deckschicht aus CrON. Das Vorhandensein der Oxidschicht auf der Oberf…

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Tribobond™ 40

DLC-basierte Beschichtung für hochbelastete Industrie- und AutomobilkomponentenTribobond™ 40 DLC von Ionbond, auch als a-C:H:W bezeichnet, ist eine der am häufigsten verwendeten Beschichtungen für In…

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 41

DLC-Beschichtung mit hervorragenden GleiteigenschaftenDie Tribobond™ 41 DLC a-C:H:W + a-C:H-Beschichtung von Ionbond wird seit vielen Jahren in der Großserienproduktion der Automobilindustrie eingese…

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 42

DLC-Beschichtung für hochbelastete Industriekomponenten und hochvolumige AutomobilanwendungenDie Tribobond™ 42 DLC, CrN + a-C:H, Beschichtung von Ionbond wurde für sehr hoch belastete Komponenten ent…

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 43

DLC-Beschichtung für industrielle Komponenten mit einzigartigen EigenschaftenTribobond™ 43 DLC (a-C:H) von Ionbond ist eine reine DLC-Beschichtung, die häufig zur Leistungssteigerung von Werkzeugen u…

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Industrielle Komponenten
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Tribobond™ 46

DLC-Beschichtung für hochbelastete Anwendungen mit rollenden KontaktenTribobond™ 46 DLC, CrN + a-C:H:W von Ionbond hat eine ähnliche Deckschicht wie Tribobond™ 40; sie wird jedoch auf einer CrN-Unter…

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Tribobond™ 48

Wasserstofffreie DLC-Beschichtung für HochtemperaturanwendungenTribobond™ 48 ta-C ist eine wasserstofffreie DLC-Beschichtung mit einer erhöhten Temperaturbeständigkeit von bis zu 400 °C im Vergleich …

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Industrielle Komponenten
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Spezialbeschichtung für Vakuum und trockene UmgebungenTribobond™ 55 ist eine Spezialbeschichtung, die für tribologische Anwendungen in trockenen Umgebungen, wie Trockengas oder Vakuum, entwickelt wur…

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Tribobond™ 66

Korrosionsbeständige AluminiumbeschichtungAluminiumbeschichtungen bieten eine bemerkenswerte Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit. In diesem Fall wirkt die Beschichtung bei galvanischer Korrosion…

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Ionbond™ CVD

Ionbond™ CVD Coatings for Components ApplicationsOne of the limitations of the PVD and PACVD technologies is their inability to promote coatings into inner surfaces, like holes and cavities with high…

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Dr. Val Lieberman

Globaler Segmentleiter Komponenten