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高精度控制的先进MOCVD技术

Bernex™ MOCVD-Evaporator

固体金属有机前驱体的升华

化学气相沉积(CVD)过程从被注入到气相反应器室的前驱体中提取产物。传统上,气体或蒸发液体前驱体用于沉积薄膜,包括硬质和耐磨涂层。

从固体金属有机前驱体中提取的额外元素的可用性极大地扩展了涂层组合物的范围,但需要在材料进入该过程之前直接升华材料。

Bernex™ MOCVD蒸发器是为金属有机前驱体升华及输运至涂层反应室而设计的独立模块。它可以通过直接控制进料量和转移蒸汽体积来实现高精度的过程调节。

通用和灵活

Bernex™ MOCVD蒸发器产生的蒸汽可用于合成多种功能材料复合的CVD薄膜成:

  • 纯金属
  • 氮化物和碳氮化物
  • 氧化物

作为

  • 耐磨涂层
  • 减摩涂层
  • 防护层
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