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真空半导体

某些较新的半导体工艺采用真空制成,于是摩擦元件又面临其他挑战。因此,IHI Ionbond 和 Hauzer Technocoating 的工程师已经开发出一种专用的类金刚石碳 (DLC) 涂层 ——Tribobond 55,这种涂层专门用于真空及其他干转环境的运行。在这些工况下,这种涂层具有极低的摩擦系数,这是普通涂层膜无法实现的。