半导体

半導體產業非常依賴專業設備來生產微晶片和其他半導體裝置。這些在嚴苛環境下運作的機器，需要耐用、精確且可靠的機械零件，才能發揮最佳的功能與高可靠性。半導體機械通常非常昂貴，因此過度的停機時間和停工是不可接受的。事實證明，對於維持半導體設備的壽命和效率至關重要的解決方案之一，就是使用 PVD、PACVD 和 CVD 沉積方法所生產的特殊薄膜 (TF) 半導體塗層。愛恩邦德 IHI 集團是這些塗層的全球領先供應商之一，通過其 35 個塗層據點為多個行業提供服務。

晶圓處理系統在各個加工階段之間移動半導體晶圓，並在加工過程中固定晶圓，這些系統依賴機械臂、滑軌和其他高精度元件，這些元件必須在污染最小的情況下運行。將薄膜和 Tribobond™ 塗層應用在晶圓處理工具上，可提供低摩擦、耐磨的表面，讓移動更順暢，並降低微粒污染的風險。

這些專用塗層可防止磨損碎屑的產生，以免危害潔淨的加工環境。Tribobond™ 塗層具有高耐磨性，可在關鍵表面形成有效密封，確保長期無顆粒運作，並支持半導體製造所需的精度和潔淨度。