半导体

半導體產業非常依賴專業設備來生產微晶片和其他半導體裝置。這些在嚴苛環境下運作的機器，需要耐用、精確且可靠的機械零件，才能發揮最佳的功能與高可靠性。半導體機械通常非常昂貴，因此過度的停機時間和停工是不可接受的。事實證明，對於維持半導體設備的壽命和效率至關重要的解決方案之一，就是使用 PVD、PACVD 和 CVD 沉積方法所生產的特殊薄膜 (TF) 半導體塗層。愛恩邦德 IHI 集團是這些塗層的全球領先供應商之一，通過其 35 個塗層據點為多個行業提供服務。

晶圆处理系统依赖于机械臂、滑块和其他高精度组件在不同的加工阶段移动半导体晶圆，并在加工过程中使其固定，这些组件必须在污染最小的情况下运行。将薄膜和 Tribobond™ 涂层应用于晶圆处理工具，可提供低摩擦、耐磨的表面，从而实现平滑移动并降低颗粒物污染风险。

这些专用涂层旨在防止产生磨损碎屑，因为磨损碎屑会破坏洁净的加工环境。Tribobond™ 涂层具有高耐磨性，可在关键表面形成有效密封，确保长期无颗粒运行，并保证半导体制造所需的精度和清洁度。