
半导体
维持摩尔定律,并为使用爱恩邦德涂层的微电子技术的小型化和效率的提高做出永不停息的贡献。

半导体
半导体应用往往非常独特,同样要求非常独特的解决方案。根据实际应用,我们可提供标准或微调的 Tribobond™ 和 Ionbond™CVD 涂层。如果是后一种情况,Ionbond 工程师会仔细分析应用要求,然后提出涂层解决方案。
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半导体涂层应用
晶片处理

晶片处理硬件涂层的主要功能是,防止产生会污染加工环境的磨损杂物。Tribobond™ 涂层因其高耐磨能力,是应对此类挑战的理想解决方案。这些涂层可有效密封关键表面,从而有助于长期保持无颗粒运行。
真空镀膜

某些较新的半导体工艺采用真空制成,于是摩擦元件又面临其他挑战。因此,IHI Ionbond 和 Hauzer Technocoating 的工程师已经开发出一种专用的类金刚石碳 (DLC) 涂层 ——Tribobond 55™,这种涂层专门用于真空及其他干转环境的运行。在这些工况下,这种涂层具有极低的摩擦系数,这是普通涂层膜无法实现的。
扩散屏障
在某些独特的半导体机械中,Ionbond™CVD 化学气相沉积 (CVD) 涂层可产生扩散屏障,以防止部件腐蚀和侵蚀。这些涂层通常涂覆在部件的内表面,确保其可靠运行。
自定义

另一组半导体应用要求具有较高专门性能的涂层。无论是电气特性、特定的电阻率范围还是承受极端高电压的能力。对于这些应用,Ionbond 工程师都能与客户密切合作,以提供标准解决方案、定制解决方案或专门设计解决方案。
工业部件的涂层组合
爱恩邦德的工业部件涂层组合,其多功能的Tribobond™和Ionbond™ CVD涂层提供了完美的解决方案,以应对现代机械部件所面临的挑战。
涂层组合