半导体

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Coatings for semiconductors

半导体

半导体应用往往非常独特,同样要求非常独特的解决方案。根据实际应用,我们可提供标准或微调的 Tribobond 和 IonbondCVD 涂层。如果是后一种情况,Ionbond 工程师会仔细分析应用要求,然后提出涂层解决方案。

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半导体涂层应用

晶片处理

Silicon wafer

晶片处理硬件涂层的主要功能是,防止产生会污染加工环境的磨损杂物。Tribobond 涂层因其高耐磨能力,是应对此类挑战的理想解决方案。这些涂层可有效密封关键表面,从而有助于长期保持无颗粒运行。

 

 

 

真空镀膜

Vacuum semiconductor coating

某些较新的半导体工艺采用真空制成,于是摩擦元件又面临其他挑战。因此,IHI Ionbond 和 Hauzer Technocoating 的工程师已经开发出一种专用的类金刚石碳 (DLC) 涂层 ——Tribobond 55,这种涂层专门用于真空及其他干转环境的运行。在这些工况下,这种涂层具有极低的摩擦系数,这是普通涂层膜无法实现的。

 

 

扩散屏障

在某些独特的半导体机械中,IonbondCVD 化学气相沉积 (CVD) 涂层可产生扩散屏障,以防止部件腐蚀和侵蚀。这些涂层通常涂覆在部件的内表面,确保其可靠运行。

自定义

electrical discharge

另一组半导体应用要求具有较高专门性能的涂层。无论是电气特性、特定的电阻率范围还是承受极端高电压的能力。对于这些应用,Ionbond 工程师都能与客户密切合作,以提供标准解决方案、定制解决方案或专门设计解决方案。

 

工业部件的涂层组合

爱恩邦德的工业部件涂层组合,其多功能的Tribobond™和Ionbond™ CVD涂层提供了完美的解决方案,以应对现代机械部件所面临的挑战。

涂层组合

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Val Lieberman

Val Lieberman

Global Segment Manager Industrial Components

+41 62 553 42 35 [email protected]