Semiconductor

半导体涂层解决方案

半导体应用往往非常独特,同样要求非常独特的解决方案。根据实际应用,我们可提供标准或微调的 Tribobond 和 IonbondCVD 涂层。如果是后一种情况,Ionbond 工程师会仔细分析应用要求,然后提出涂层解决方案。

Silicon wafer

晶片处理

晶片处理硬件涂层的主要功能是,防止产生会污染加工环境的磨损杂物。Tribobond 涂层因其高耐磨能力,是应对此类挑战的理想解决方案。这些涂层可有效密封关键表面,从而有助于长期保持无颗粒运行。

Vacuum Semiconductor

真空镀膜

某些较新的半导体工艺采用真空制成,于是摩擦元件又面临其他挑战。因此,IHI Ionbond 和 Hauzer Technocoating 的工程师已经开发出一种专用的类金刚石碳 (DLC) 涂层 ——Tribobond 55,这种涂层专门用于真空及其他干转环境的运行。在这些工况下,这种涂层具有极低的摩擦系数,这是普通涂层膜无法实现的。

Ionbond Industrial Portrait

扩散屏障

在某些独特的半导体机械中,IonbondCVD 化学气相沉积 (CVD) 涂层可产生扩散屏障,以防止部件腐蚀和侵蚀。这些涂层通常涂覆在部件的内表面,确保其可靠运行。

Electrical discharge

爱恩邦德定制涂层解决方案

另一组半导体应用要求具有较高专门性能的涂层。无论是电气特性、特定的电阻率范围还是承受极端高电压的能力。对于这些应用,Ionbond 工程师都能与客户密切合作,以提供标准解决方案、定制解决方案或专门设计解决方案。

用于工业部件的优质涂料

爱恩邦德用于工业部件的涂料组合专为不同行业的应用而设计,包括航空航天、交通运输、发电和一般工程。

工业部件
Microsection Tribobond 01

Tribobond™ 01

机械部件大范围应用的常规涂层Tribobond™ 01 TiN可以说是最古老和最流行的PVD涂层。赏心悦目的金色和出色的机械性能使该涂层成为广泛的应用和行业的最终通用涂层。Tribobond™ 01 TiN能有效地防止磨料磨损、咬合和摩擦,并被用于许多工业机械部件。由于其特有的黄色,Tribobond™ 01有时也被用作磨损指示涂层。
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工业部件
Microsection Tribobond 15

Tribobond™ 15

高温应用的抗磨损涂层爱恩邦德的Tribobond™ 15 TiAlCrN涂层具有令人印象深刻的性能组合;高硬度、优秀的韧性和高冲击疲劳耐磨性。Tribobond™ 15还具有高温稳定性,这使得它成为高温应用的最佳选择,如涡轮增压器的部件、活塞环和钛合金部件,如发动机阀门和其他高温暴露的部件。Tribobond™ 15 TiAlCrN在正常和高温下…
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工业部件
Microsection Tribobond 15

Tribobond™ 20

高温应用的耐磨涂层爱恩邦德的Tribobond™ 20 AlTiN涂层设计用于在高达850℃的温度下提供磨损和氧化保护。 它拥有令人印象深刻的性能组合:高硬度、优秀的韧性和抗冲击疲劳磨损。尽管它的硬度很高,但Tribobond™ 20具有相当的延展性,这使得它在硬颗粒侵蚀的应用中表现出色(例如,用于保护喷气发动机的压缩机叶片)。其他高温应用,如涡…
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工业部件
Microsection Tribobond 30

Tribobond™ 30

具有优良韧性的耐高温涂层Tribobond™ 30 CrN具有良好的性能组合;高硬度、出色的韧性、高耐磨性和抗冲击疲劳性。Tribobond™ 30能抵抗高达700ºC的氧化,使其成为高温应用的良好候选者。它的特点是比许多其他涂层的残余应力低,允许沉积更厚的涂层。CrN可以在低温下沉积,这使得它在对温度敏感的基材上具有不可替代性。Tribobon…
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工业部件
Microsection Tribobond 31

Tribobond™ 31

低应力耐磨涂层,表面光滑与Tribobond™组合中的许多其他涂层(包括CrN)相比,亚吉祥度的Tribobond™ 31 Cr2N具有更低的残余应力。由于该涂层是通过溅射法生产的,它的粗糙度通常比阴极电弧涂层低。这种涂层的结晶结构使其具有优良的抛光性能。Tribobond™ 31 Cr2N还表现出较低的表面能,使这种涂层更疏水性。一般来说,Tr…
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工业部件
Ionbond Industrial Portrait

Tribobond™ 34

带有顶部氧化层的耐磨涂层Tribobond™ 34 CrON具有标准的CrN涂层和CrON顶层。表面的氧化膜的存在为涂层增加了额外的功能。其中包括减少对非金属材料的亲和力,如弹性密封件和部件,在某些润滑条件下降低摩擦,防粘连,提高对粘滑现象和某些腐蚀环境的抵抗力。主层和氧化层是在一个涂层周期内产生的,因此不需要额外的加工。
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工业部件
Microsection Tribobond 40

Tribobond™ 40

用于高负荷工业和汽车部件的DLC涂层爱恩邦德的Tribobond™ 40 DLC,也被指定为a-C:H:W,是广泛用于工业和汽车零部件的涂层之一。它本质上是一种含有分散的碳化钨(WC)纳米颗粒的DLC涂层。该涂层专门设计用于在滚动和滑动接触中具有高接触负荷的应用,如齿轮和轴承。它将出色的磨合性能与良好的耐磨性和低摩擦结合起来。此外,该涂层还能减少…
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工业部件
Piston Pin coating

Tribobond™ 41

具有卓越滑动性能的DLC涂层爱恩邦德的Tribobond™ 41 DLC a-C:H:W + a-C:H涂层已被用于大批量汽车生产多年。 它结合了良好的磨合性能、高耐磨性和非常低的摩擦。 该涂层非常适用于摩擦学接触中的纯滑动条件。 Tribobond™ 41在气门机构(如挺杆)和曲轴机构部件(如活塞销/活塞环)上表现出卓越的性能。最先进的共轨和单…
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工业部件
Microsection Tribobond 42

Tribobond™ 42

用于高负荷工业部件和大批量汽车应用的DLC涂层爱恩邦德的Tribobond™ 42 DLC, CrN + a-C:H涂层是为高负荷部件设计的。它结合了高承载能力、抗疲劳性和高耐磨性,并且仍然表现出非常低的摩擦性能。Tribobond™ 42 DLC在气门机构(如挺杆)和曲轴机构部件(如活塞销/活塞环)上表现出卓越的性能。最先进的共轨和单元喷油器部…
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工业部件
ADLC coated application

Tribobond™ 43

用于工业部件的DLC涂层具有独特的性能爱恩邦德的Tribobond™ 43 DLC(a-C:H)是一种纯DLC涂层,它被广泛用于提高工具和各种精密部件的性能。根据不同的应用,这种涂层可以用Cr或Si基底层生产。在这两种情况下,Tribobond™ 43都能提供出色的磨损保护和减少摩擦,而硅基底层也能增加出色的腐蚀保护。Tribobond™ 43拥…
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工业部件
Microsection Tribobond 46

Tribobond™ 46

用于滚动接触的高负载应用的DLC涂层爱恩邦德的Tribobond™ 46 DLC, CrN + a-C:H:W的顶层与Tribobond™ 40相似;但它是沉积在CrN底层,而不是纯Cr.T.。CrN的高硬度及其承载能力可以为a-C:H:W功能层提供额外的支持,并且在a-C:H:W被磨损的情况下充当备用耐磨层。因此,Tribobond™46可以承…
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工业部件
Piston Pins coating service

Tribobond™ 48

用于高温应用的无氢DLC涂层Tribobond™ 48 ta-C是一种无氢DLC涂层,其耐温性能提高到400°C,而氢化DLC涂层为250°C。因此,典型的应用包括高负荷的机械部件,这进一步得益于涂层的耐磨性提高和摩擦系数降低。该涂层还表现出对油、汽油和柴油燃料的更好的润湿性。Tribobond™ 48 ta-C已在气门机构(如挺杆)和曲轴机构(…
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工业部件
Piston Pins coating service

Tribobond™ 55

用于疫苗和干燥环境的特殊涂层Tribobond™ 55是一种特殊涂层,它是为解决干燥环境下的摩擦学应用而开发的,如干燥气体或真空。常规的类金刚石(DLC)涂层,如Tribobond™ 41/42/43在这种条件下表现不佳,因为它们需要湿度来形成润滑层并减少摩擦。Tribobond™ 55是专门为克服这种限制而设计的,它通过修改DLC功能层的结构/…
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工业部件
Ionbond Industrial Portrait

Tribobond™ 66

抗腐蚀的铝涂层铝涂层在抗腐蚀方面有显著的改善。在这种情况下,涂层在电化学腐蚀中起到牺牲阳极的作用,从而保护基材。离子气相沉积(IVD)是生产这种薄膜的一种常见方法。爱恩邦德的工程师已经开发了一种替代技术,使用阴极电弧或溅射PVD技术来生产铝涂层。用PVD方法生产的铝涂层完全满足各自MIL规范的要求,并具有一些性能优势。
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工业部件
Microsection Ionbond CVD IC

Ionbond™ CVD

Ionbond™ CVD Coatings for Components ApplicationsOne of the limitations of the PVD and PACVD technologies is their inability to promote coatings into inner surfaces, like hol…
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