CVD涂层

化学气相沉积

CVD coating process

Ionbond CVD涂层服务

Ionbond™ CVD 工艺于20世纪70年代初就已经得到发展。在沉积过程中使用金属卤化物作为涂层前体,如四氯化钛或三氯化铝。多年以来,该项技术一直不断的完善,以应对市场不断增长的涂层质量要求,以及对工艺和设备的可靠性和生产力的要求。 CVD 工艺是用来沉积5微米至12微米,在特殊情况下,最多至20微米厚的涂层。采用的材料为TiC,TiCN的,TiN和α或κ氧化铝(AL203)。根据不同的磨蚀或腐蚀性的环境,CVD工艺在切削工具、模具(如冲压模、挤压模和切边模,及各种机械件)的应用中形成单层或多层薄膜。

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白皮书。用于工程部件的CVD涂层

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什么是CVD镀膜技术?

化学气相沉积(CVD)是通过热感应化学反应,从而产生低应力的涂层。将涂层材料以化学的形式添加到涂层区域,化学产生分解或与其它的前驱物产生化学反应,从而在基体上产生一层薄膜。该前驱物不断的被添加到反应区中,并将副产品除去。CVD工艺可在真空状态下或正常大气压下进行。

CVD涂层的优势

Ionbond™ CVD 涂层的典型的工艺温度为HT CVD工艺的温度为900到1050 °C, Ionbond™ MT CVD工艺 的温度为720到900 °C。 基底材料是钨碳化物,工具钢,高温镍合金,陶瓷和石墨。回火的钢工具和部件需要在做完涂层后做热处理,以达到所需的硬度。

  • 低应力
  • 扩散结合的形式而带来的杰出的涂层粘附性
  • 高承载能力
  • 优异的涂层均匀性,不管零件的形状如何
  • 能够为复杂的几何形状的零件做涂层,包括某些有内径的零件

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关于CVD镀膜服务的常见问题

CVD涂层的主要优点是什么?

CVD涂层能够降低长期成本、提高效率。由于我们优质的工具,以及切削速度及容量的增加,成本得到了降低,生产率得到了提高。CVD涂层后的工具能够在干燥的状态下以最小的润滑(或模具的脱模剂)使用,能够节省营运和回收成本。 CVD机械工具的涂层能够减少摩擦和磨损,提高产品性能及可靠性。

为工具和部件做涂层该做哪些准备?

在做涂层之前,基底(工具和部件)需要去除任何异物、油或油脂。清洁过程是一个非常重要的过程,它决定了附着力,进而影响被涂层的工具和部件的性能。所有的部件都在涂层之前由爱恩邦德员工根据规定的程序先做清洁工作。爱恩邦德鼓励客户针对需要做涂层的基体所需的最适宜的涂层要求进行讨论,以保证最佳的性能。

哪一部分或何种形状的工具可做CVD涂层加工?

CVD工艺在部件或工具的外部及内部产生均匀的涂层,这些部件或工具在设备的反应器中是处于静态状态的。

我们是否可以遮盖某些区域不被涂层?

哪些部分可以被遮盖取决于工艺过程。一般情况下,PVD工艺中遮盖是很容易做到的,因为它是可视的过程,但在PACVD工艺中相对困难一些,而在CVD工艺中是非常困难的。

CVD涂层的周转时间是多少?

基本的交货时间是3至5天。对于需要做测试的部件和试样,因为需要做夹具及过程设计,需要花费多一些时间