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术语表

PVD

物理气相沉积。材料作为蒸汽从靶材被输送到产品,反应元素如N2往往是从气态加入。沉积温度范围从室温到550 °C。

CVD

化学气相沉积。材料完全取自于气相,金属原子通常由复杂的分携带行,反应元素如N2从气态加入。代表性的基材温度在800到1050°C之间。

PACVD

等离子辅助化学气相沉积。材料完全取自于气相,但工艺温度降低到200到550 °C之间的水平。

CVA

化学气相渗铝是一种把铝扩散到零件表面以增强高温耐腐蚀和抗氧化的工艺。

DLC,类金刚石

根据VDI2840标准,命名法为:

  • a-C:H 非晶态氢化碳(sp2/sp3混合)
  • ta-C:H 非晶态氢化碳(sp3作为主导粘合物)
  • ta-C的非晶态无碳(sp3作为主导的粘合物)(Tetrabond™)

ADLC

非晶质类金刚石,爱恩邦德的一种涂层,使得a-C:H通过射频等离子产生。 ADLC的优势是可涂层非导电基材。

附着力

附着力通常按洛氏压痕分类。齿顶半径200μm和120°锥角的金刚石被标准力(0.5 N)压印,图像会被分析并在HF1到HF6中进行分类。测量是半定量性的,测量不是来自表面和底涂层之间,而是负载下涂层和基材的力学响应。附着力测试根据VDI3198进行。

硬度

薄膜硬度通过远远高于基材。经典的硬度测试依靠于深压痕。对于薄膜,薄膜的硬度只能通过压痕深度大大低于薄膜厚度的手段来精确确定。标准硬度测试使用的是维氏硬度试验,一个金字塔形的金刚石被施以标准负载即20mN。

厚度

薄膜的厚度一般为0.5µm(装饰性涂层)到10µm(CVD涂层)。薄膜的厚度是由取样片上的球弧坑(calotest)决定,涂层厚度可通过由此产生的弧坑图像测量来计算。

摩擦系数

摩擦系数可通过许多方法测量。通常摩擦系数是在正常空气气氛中无润滑条件下和未涂层的标准钢板上测量。

表面粗糙度

表面粗糙度的特性通过6个参数来表示。以下两个通常被认为是最相关的:

  • Ra,在长度超过40毫米测量的平均表面粗糙度
  • Rp,最大峰高

Crosscut™

爱恩邦德用于刀具AlCrN涂层的商标名称

Hardcut

爱恩邦德用于刀具TiSiN涂层的商标名称

Maximizer

爱恩邦德用于刀具AlTiN涂层的商标名称

Ionbond™

爱恩邦德用于多用途刀具涂层和成型和注塑操作涂层的商标名称

Bernex™

爱恩邦德用于CVD涂层和CVD设备的商标名称

Decobond™

爱恩邦德用于装饰性PVD涂层的商标名称

Tribobond™

爱恩邦德用于机械部件涂层的商标名称

Diamondblack™

爱恩邦德用于奢侈品的DLC或ADLC装饰性PACVD涂层的商标名称

Tetrabond™

Tetrabond™爱恩邦德用于铣削复合材料和铝的机床的无氢类金刚石涂层的商标名称。

Tetrabond™技术是一种基于PVD工艺的增强型的电弧技术。这项工艺由爱恩邦德开发,允许用于超硬、大颗粒游离、非氢化的类金刚石(DLC)薄膜的沉积。

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