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La technologie CVD

Le Dépôt Chimique en phase Vapeur (CVD), est le procédé de dépôt par évaporation chimique, qui permet d’obtenir des couches faiblement contrainte du fait d’une réaction chimique induite thermiquement. Le matériau du revêtement est apporté dans l’enceinte sous la forme d’un gaz précurseur. La vapeur se décompose alors ou réagit avec d’autres précurseurs supplémentaires, produisant ainsi un film sur le substrat. Les précurseurs sont introduits en continu dans la zone de réaction tandis que les produits résiduels sont éliminés. Les procédés CVD peuvent être réalisés sous vide ou à pression atmosphérique.

Le procédé Bernex™ CVD a été développé dans les années 1970. Le processus de dépôt utilise des halogénures métalliques comme précurseurs de revêtement, tels que TiCl4 ou AlCl3. Au fil des ans, la technologie n’a cessé de s’améliorer afin de répondre aux exigences croissantes du marché, notamment en matière de qualité des revêtements, de fiabilité et de productivité du procédé et de l'équipement.

Le procédé CVD est utilisé pour déposer des couches de 5 à 12 µm et dans certains cas particuliers jusqu'à 20 µm d’épaisseur. Les matériaux employés sont des TiC, TiCN, TiN et des d'oxyde d'aluminium (Al203) α ou κ. Ils sont appliqués en couches simples ou multiples sur des inserts de coupe, sur des outillages de frappe, de découpe ou des outillages d’injection, sur des outillages d'extrusion, et diverses pièces mécaniques soumises à la corrosion ou à l’abrasion.

Les températures de processus standards pour les revêtements CVD Bernex™ sont entre 900 et 1050 °C pour le CVD HT et entre 720 et 900 °C pour le processus MT CVD de Bernex™.

Les substrats pouvant être revêtus, sont des carbures de tungstène, des aciers à outils, des alliages de nickel à hautes températures, de la céramique et du graphite. Les outils en acier trempé devront subir un traitement thermique Post Revêtement afin de retrouver leur dureté initiale.

  • Faible contraites
  • Adhérence exceptionnelle du revêtement due à la formation d’une liaison par la diffusion
  • Capacité à supporter de fortes charges
  • Excellente uniformité du revêtement, indépendante de la géométrie de la pièce
  • Possibilité de revêtir des géométries complexes, y compris des diamètres intérieurs

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